Plasma in general plasma 공정 중 색변화
2023.04.20 14:36
안녕하세요. 저는 이번에 대학원 석사과정으로 들어오게 된 안서연입니다.
현재 저는 RF마그네트론 스퍼터링을 이용해서 여러 파라미터를 가지고 공정을 진행하고 있습니다.
Ti target에 Ar(50sccm)/O2(1sccm)을 넣고 파워만 조절(60,80,100,120)해서 막이 리니어하게 쌓이는지 보고있었습니다.
60W의 경우 공정 중 plasma 색변화가 생겼는데 presputtering 단계에선 보라-핑크 빛을 띠고 있었습니다. (Ar/O2 모두 넣고 프리스퍼터링 진행) 헌데, 실제 공정에 들어가게되어 타겟의 셔터를 열고 난 후 플라즈마 색이 핑크 빛이 였으나, 약 10분정도 후 푸른색 플라즈마를 띄며 공정이 일어나게 되었습니다.
80W도 동일했으나 바뀌는 텀이 짧았고(약 2분 소요), 100,120W의 경우 셔터를 열면 바로 푸른색 플라즈마를 띄는 것을 볼 수 있었습니다.
공정 중 플라즈마가 압력과 파워의 영향을 받는다는 것은 이햐가 되지만, ( Analysis of plasma-induced morphological changes in sputtered thin films over compliant elastomer Debashis Maji1 and Soumen Das1 참조)
시간이 지남에 따라 플라즈마 색이 변화하는 이유가 궁금합니다.
혹시 관련 매커니즘이나, 참고할만한 서적, 혹은 개념같은 것을 알 수 있을까요?
읽어주셔서 감사합니다.
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