Others 석영이 사용되는 이유?

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20038 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92697
677 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 593
676 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 595
675 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 598
674 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 599
673 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 600
672 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 609
671 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 611
670 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 612
669 RF Sputtering Target Issue [2] file 613
668 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 614
667 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 617
666 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 617
665 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 621
664 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 623
663 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 625
662 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 625
661 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 627
660 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 632
659 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 637
658 plasma 공정 중 색변화 [1] 639

Boards


XE Login