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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[278]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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499 |
Ar plasma power/time
[1] | 1447 |
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498 |
강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1455 |
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497 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1459 |
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496 |
Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1460 |
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495 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1466 |
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494 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1468 |
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493 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1469 |
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492 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1469 |
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491 |
알고싶습니다
[1] | 1471 |
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490 |
ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1475 |
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489 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1479 |
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488 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1480 |
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487 |
charge effect에 대해
[2] | 1482 |
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486 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1515 |
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485 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1526 |
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484 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1527 |
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483 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1537 |
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482 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1539 |
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481 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1556 |
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480 |
plasma 형성 관계
[1] | 1557 |
