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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20242 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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355 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3656 |
354 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3705 |
353 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3729 |
352 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3734 |
351 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3786 |
350 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 3811 |
349 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3828 |
348 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3930 |
347 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3942 |
346 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3969 |
345 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3974 |
344 |
the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문
[1] | 3978 |
343 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 4030 |
342 |
SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문
[1] | 4159 |
341 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 4196 |
340 |
플라즈마 색 관찰
[1] | 4278 |
339 |
Dry Etching Uniformity 개선 방법
[2] | 4285 |
338 |
ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
| 4332 |
337 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[3] | 4509 |
336 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4832 |