Langmuir Probe Langmuir probe tip 재료
2004.06.19 16:08
Langmuir probe tip의 재료는 집속이온에 의한 이차 전자 방출계수가 낮은 물질이며 고전류 흐름시 용융되지 않는 용융점이 높은 성질을 갖는 물질을 선택합니다. 이런 조건을 맞추는 것으로 텅스텐(W), 몰리브데니움(Mo), 탄탈리움(Ta)등을 많이 사용하고 있습니다. 때로 플라즈마 밀도가 높은 경우에 사용되는 탐침 팁으로 흑연팁이 사용되기도 합니다. 용융점이 높은 이유이지요. 원칙적으로는 도체는 어떤 재료나 탐침의 재료로 사용할 수는 있으나 탐침으로부터 불순물이 나오는 문제에 깊은 고려를 해야할 것입니다. 또한 탐침 팁의 크기는 탐침 팀 근방에서 형성되는 쉬스의 크기에 비해 커야 측정이 편리하게 됩니다. 따라서 탐침 설계 및 해석에 있어서 이에 대한 고려를 해야 합니다.
더욱 자세한 내용은 다음 서적을 참고하시기 바랍니다.
Plasma Diagnostics 1 (edited by O. Auciello and D. Flamm : Academic Press 1989)
chapter 3 : How Langmuir Probes Work ?
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