Others 플라즈마의 정의

2004.06.19 16:14

관리자 조회 수:25271 추천:296

플라즈마의 정의에 대해서 이야기 하고자 합니다.
플라즈마는 제4의 물질의 상태를 의미한다고 이야기합니다. 얼음을 예로 들어 보겠습니다.
얼음(고체)에 열을 가하면 물(액체)이 되고 더 에너지를 주면 수증기 혹은 H2O 분자가 됩니다.
이는 기체상태에 준하게 되고 여기서 더욱 에너지를 가하게 되면 물분자가 해리되고 이온화
되어 산소 혹은 수소, 혹은 물분자 이온등의 하전 입자가 되어 전기력을 띄게 됩니다.
이러한 상태를 플라즈마상태 즉, 개스가 이온화되어 있는 상태를 의미합니다.
조금 더 구체적으로 나타내면 플라즈마 내에는 양전하를 갖는 이온들 (분자 및 원자 이온)과
음전하를 띠는 전자들로 구성되어 있고 이들의 숫자는 매우 많고 혼재되어 있어서 양전하나
음전하 하나의 전위는 그 주변에 있는 상대 전위를 갖는 입자들로 인해서 그 전기력의 영향이
멀리 미치지 못합니다. 즉, 임의의 양전하가 플라즈마 내에 삽입이 된다면 그 주변에 있는
음전하 전자들로 인해서 양전하의 전위는 쉽게 차폐되어 플라즈마 전체에는 큰 영향을
미치지 않게 됩니다. 이런 조건이 만족되기 위해서는 플라즈마 내에 매우 많은 수의
양이온의 숫자와 음이온이 존재하고 있으며 그들의 숫자는 거의 같아 플라즈마 에서는
이런 조건을 준 중성상태를 만족하고 있다고 하전 입자들이 군집활동을 하고 있다고 합니다.
따라서 이런 특징들을 플라즈마를 정의하는 기본적인 내용으로 전자 빔이나 이온 빔과 플라즈마는
그 성격이 다름을 알 수 있습니다. 또한 일반적으로 핵융합 플라즘마 내에는 거의 대부분의 입자들은
이온과 전자들로 구성되어 있으며, 산업용 플라즈마 내에는 약 1-10%의 이온 및 전자의
하전 입자들과 나머지 중성입자들로 구성되어 있습니다. 일반적으로 플라즈마라 말할 때 중성 개스 입자가
포함된 것 처럼 이야기하기도 하지만 플라즈마 정의에 의해서 본다면 중성개스들은 플라즈마
상태를 구성하는 것이라 할 수 없고 단지 반응기 내에 형성된 플라즈마 상태의 입자들 사이에 중성 개스 입자들이
포함되어 있다고 이해하는 편이 옳을 것 입니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5612
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16909
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64214
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84235
692 plasma modeling 관련 질문 2
691 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 48
690 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 51
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 53
688 ESC DC 전극 Damping 저항 70
687 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 118
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 119
685 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 127
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 130
683 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 140
682 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 146
681 Polymer Temp Etch [1] 149
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 150
679 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
678 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 152
677 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
676 plasma striation 관련 문의 [1] file 169
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 194
674 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 196
673 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 196

Boards


XE Login