Others Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?..

2004.06.19 16:47

관리자 조회 수:15736 추천:287

질문 :
안녕하세요..
항상 좋은 정보를 얻어가고 있는 대학원생입니다.
교수님이 추천해주셨던
David.N. Ruzic 이 쓴 책
"Electric probes for Low temperature plasmas"
에 보면... Plasma potential의 결정방법(pp62)에서
Plasma potential값이 음수값이 나옵니다.
벌크 플라즈마에서 빠져나간 전자에 의해 플라즈마는 chamber wall에 비해 상대적으로 전기적 positive한 상태를 갖게 될텐데 chamber wall이 접지가 된상태라면 절대 음수가 나올수 없을것 같습니다.
저희 실험실은 TCP를 사용하고 있습니다. 자체 제작한 Langmuir probe로 진단을 해봤지만 plasma potential이 음수값을 보인적은 없었습니다. 플라즈마 조건에 따라 다르지만 대략 20~30V정도의 양수값을 보이고 있습니다.
제 생각이 잘못된것인지.. 아니면 다른 특별한 경우가 있는것인지 궁금합니다.  그럼 좋은 답변 기다리겠습니다.
끝으로 교수님 연구실에 끊임없는 발전이 있길 빌겠습니다.

===============================================================================

답변 :

음수 플라즈마 전위에 대해서 질문하셨습니다. 좋은 질문입니다.

질문자의 예상대로 기준점, 즉 접지를 기준으로 한다면 플라즈마 전위는 양의 값이 나와야 합니다.
이를 좀더 구체적으로 말하면, 우리가 플라즈마 전위를 말할 때 주의해야 할 점이 있다면  플라즈마 전위는 플라즈마의 부유 전위를 기준으로 항상 양이라는 점입니다. 플라즈마의 부유전위는 실제 플라즈마가 벽으로 빠져나가면서 전자 전류와 이온 전류가 균형을 이루면서 형성하는 벽 전위로 플라즈마 내에서 전위를 이야기 할 때 기본이 됩니다. 예를 들어 플라즈마가 도체로 둘러쌓여 있고 그 벽이 접지되어 있다면 기준 전위인 부유전위도 거의 접지 전위와 비슷할 것이며 이를 기준으로 플라즈마 온도의 3-5배 정도의 전위가 플라즈마 전위가 될 것 입니다. 하지만 부도체 예를 들자면 유리 관 벽의 전위는 음전하가 많이 하전되어 전위가 음이며 아울러  플라즈마 부유 전위도 음 값을 갖게 되고 따라서 플라즈마 전위도 음수값을 나타냅니다. 여기서 음의 값이란 플라즈마와 상관 없는 밖에서 관찰하고 있는 관찰자의 기준 값이 접지 값이기 때문에 나타나는 결과입니다.
결국 플라즈마 전위가 음의 값을 갖음은 결코 이상한 일이 아닐 수 있습니다.

Ruzic은 hollow cathode 플라즈마에서 얻은 탐침 자료를 소개하였는데 탐침 자료가 얻어진 플라즈마의 반응기의 특성 혹은 탐침의 위치등에 대한 구체적인 언급이 없어 어떤 이유를 음의 값을 나타내고 있는 지 알 수 없으며 추정만 가능할 뿐입니다. 따라서 보다 정확하게 탐침 자료를 해석하고 분석하기 위해서는 플라즈마  발생기 구조, 특성, 탐침기의 위치, 크기, 형태, 및 플라즈마 발생 조건등에 관한 상세한 자료가 필요합니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78047
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20850
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57738
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93636
819 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [1] 9
818 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [1] 14
817 인가전압과 ESC의 관계 질문 [1] 33
816 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 45
815 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 49
814 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51
813 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [2] 54
812 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 59
811 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 61
810 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
809 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 81
808 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 83
807 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 85
806 Druyvesteyn Distribution 87
805 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
804 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 92
803 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 93
802 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 94
801 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 105
800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106

Boards


XE Login