Others 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free]

2004.06.21 15:40

관리자 조회 수:18632 추천:293

질문 ::

안녕하세요.
저는 수원대학교에서 CCP 장비로 표면처리(세정,식각)에 관한 연구를 수행하고 있습니다.
이번에 추가로 펌프 장비를 꾸미게 되었는데 가격이 만만치가 않네요.
현재 로터리 펌프만 연결되어 있어 터보펌프로 장착할려고 했는데 예산보다 천만원이나 비싸서(환율, 단종으로 인한 업그레이드로 가격 상승 등) 아직 결정을 못하고 있습니다.
그런데 터보펌프대신에 Difusion pump를 사용해도 될런지요...
확산펌프는 가격이 상당히 저렴하던데...펌핑능력도 괜찮은것 같구요.
제가 알고 싶은 사항은
확산펌프는 케미칼에 의해 오일이 오염될 염려와 경원소의 펌핑에 적합하다고 하던데 제가 사용하는 가스는 CF4, CHF3, Ar, 산소 등이거든요.
이러한 가스로 확산펌프를 사용해도 될런지 궁금합니다.
교수님께서 실험실 장비 꾸미신 히스토리와 펌프에 대한 의견을 들었으면 연구에 정말 많은 도움이 될 수 있을것 같습니다.
터보는 게이지 포함해서 한 3천만원 정도이고 확산은 천만원이면 될 것 같더군요..혹시 터보가 너무 비싼건가요??
미리 답변에 감사드립니다.
항상 건강하시고 더위 조심하십시요.

답변 ::

corrosion free pump

표면 처리, 특히 식각등을 목적으로 process에는 diffusion pump를 사용하고 있지 않습니다.
질문자가 예상하고 있듯이 오염 문제가 심각합니다. 따라서 Turbo pump를 사용하겠지요.
하지만 Turbo pump를 사용함에도 turbo의 회전 날등에 부식방지처리가 된 것을 사용합니다.
당연한 고려입니다. 또한 이에 따라서 가격은 차이가 납니다.
자세한 가격을 pump회사에 문의하시기 바라며 혹은 중고를 재생하는 경우에는 가격이 비교적
저렴하니 이런 방법에 대해서 경험이 많으신 지도 교수님과 상의하시기 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102595
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24653
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61347
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73428
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105732
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 120
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
831 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 187
830 플라즈마 식각 커스핑 식각량 224
829 PEALD 챔버 세정법 [1] 242
828 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 256
827 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 262
826 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 286
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
824 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 299
823 플라즈마 설비에 대한 질문 301
822 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
821 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 333
820 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 334
819 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 337
818 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
816 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
815 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 364

Boards


XE Login