Sheath Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자]

2004.06.21 15:52

관리자 조회 수:36745 추천:253

질문 ::

self bias(DC bias)전압에 대하여 문의드립니다.
실제로 DC bias sensor로 측정을 하고 sputter를하게되면
450[v]정도에서는 데포가 되지않고, 600[v]이상에서는 데포가 됩니다.
이것을 중요하게 생각하는것이아니라. 개인적으로
target size, chamber wall, impedance matching(?)가 관련이 있는것으로
생각되어지구요.. 이것이 맞는것이지,
다른 원인이 있는것인지 궁금합니다.

답변 ::

Self bais는 전극에 하전되는 전하량에 비례하게 됩니다. 따라서
따라서 하전되는 전하량은 당연히 전극의 크기와 플라즈마 밀도와
상대 전극의 크기등에 비례하겠지요. 플라즈마 밀도와 온도는
전극으로 들어오는 플라즈마 전류량에 영향을 미치게 되어 중요하고
전극의 크기들은 전체 하전량을 좌우함으로 또한 중요하게 됩니다.
아울러 플라즈마 임피던스는 플라즈마 밀도와 온도의 함수이므로
질문하신 플라즈마 임피던스도 관련되는 인자임이 틀림없게 됨니다만
보다 정확한 표현은 플라즈마 특성 인자들, 온도, 밀도라 하겠습니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103233
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24701
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61501
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73514
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105927
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 121
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 187
831 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226
830 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 237
829 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 265
828 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 291
827 PEALD 챔버 세정법 [1] 293
826 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 301
825 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 302
824 플라즈마 설비에 대한 질문 305
823 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 328
822 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 328
821 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 343
820 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 346
819 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 349
818 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 349
817 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 354
816 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 357
815 Druyvesteyn Distribution 374
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 375

Boards


XE Login