ATM Plasma 상압 플라즈마 관련 문의입니다.
2008.10.10 16:12
안녕하세요..
상압 플라즈마 관련 업체에서 근무중인 김형석이라고 합니다.
다름이 아니라, 저희가 RF 플라즈마를 이용한 세정 장비를 개발 중에 있습니다.
모듈을 방전시 외부에 온도 라벨을 붙여 테스트 한결과, 약 7분 정도 지났을때, 접지 전극 온도가 약70도 정도 였습니다.
그러나, 그 순간 접지 전극이 휘는 현상이 발생하였습니다.
접지 전극을 새것으로 바꾸어도 마찬기지 현상이 발생합니다.
제 생각으로는 플라즈마가 불균일 하여, 생긴 현상이라 생각됩니다.
이에 대한 좋은 가르침 주시면 감사하겠습니다.
저희 장비는 리모트 타입으로써, 상부 전극은 Ag Paste에 절연체로는 세라믹을 사용중이며,
하부 전극은 알루미늄 아노다이징(60um)를 사용 중입니다.
전원은 RF를 사용 중입니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76871 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 9 |
796 | Druyvesteyn Distribution | 13 |
795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 21 |
794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 25 |
793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 38 |
792 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 56 |
791 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 63 |
790 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 63 |
789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 68 |
788 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 71 |
787 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
786 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 73 |
785 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 77 |
784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 90 |
783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 94 |
782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 116 |
781 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 116 |
780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 119 |
779 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 136 |
778 | Microwave & RF Plasma [1] | 137 |