Langmuir Probe 플라즈마 측정기
2009.08.06 11:38
안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.
분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68748 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92613 |
797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 8 |
796 | Druyvesteyn Distribution | 11 |
795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 18 |
794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 22 |
793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 24 |
792 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 49 |
791 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 55 |
790 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 63 |
789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 63 |
788 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 67 |
787 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 68 |
786 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
785 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 77 |
784 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 86 |
783 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 91 |
782 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 110 |
781 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 113 |
780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 118 |
779 | Microwave & RF Plasma [1] | 134 |
778 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 135 |