Others 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!

2009.09.17 11:57

서현 조회 수:19249 추천:216

목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다.. 궁금한게 있어서요~ 현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다. 음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다.. 항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나? 칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고 또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요! 그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다.. 근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요... 진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~ 당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데 결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~ 오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요?? 아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요?? 궁금해 죽겟습니다... 도와주세요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 5
677 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 11
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 26
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 46
674 Polymer Temp Etch [1] 53
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 64
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 79
671 Plasma Arching [1] 84
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 103
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 136
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 180
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 198
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 200
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 203
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 207
662 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 212
661 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 239
659 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 273

Boards


XE Login