Chamber Impedance 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련

2010.05.05 13:56

강철호 조회 수:27209 추천:167

안녕하십니까?
저는 RF관련한 챔버,매칭박스,제네레이터 관련한 업무를 시작하게된 강철호라고 합니다,
공정 진행중 여러가지 원인에 의한 챔버의 임피던스 변화를 RF 제네레이터와 매칭 시키기 위해 매칭 박스를
이용한는 것으로 알고 있습니다..
여기서 질문입니다.
챔버의 임피던스가 변한다는것이  임피던스가 증가하는것인지,감소하는 것인지, 또는 2가지 경우가  랜덤하게
진행 되는 것인지 궁굼합니다..
만약 임피던스가 증가한다면 매칭박스가 어떤 원리로 매칭박스+챔버의 임피던스를 50Ω 으로 매칭할수 있는지
모르겠습니다.
너무 기초적인 지식이 없어 열심히 공부하려고 하니  성의 있는 답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20179
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
789 플라즈마 설비에 대한 질문 new 4
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 33
787 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 52
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 56
785 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 62
784 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 68
783 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 77
782 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 80
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 85
780 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 100
779 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 107
778 Microwave & RF Plasma [1] 110
777 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 111
776 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 121
775 skin depth에 대한 이해 [1] 122
774 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 123
773 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
772 ICP에서 전자의 가속 [1] 136
771 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 146

Boards


XE Login