안녕하세요. 저는 환경업체에 다니고 있는 황성구라고 합니다.

플라즈마 관련해서는 제가 너무 모르는 분야라 자료를 찾기도 힘들고 그래서 염치불구하고 이곳에 글을 남겨봅니다.

제가 이번에 회사에서 플라즈마 관련해서 연구과제를 맡은게 있습니다.

수중방전을 통해 플라즈마를 생성시키는 것인데요.

이때 수중에 용존되어 있는 NH3(암모니아성질소), NO3(질산성질소)를 처리할 수 있는 방법이 있나요?

제 생각에는 플라즈마가 생성되면서 나오는 전자가 NH3(암모니아성질소), NO3(질산성질소) 이온들을 깨서

N과 H로 분리 할 수 있다고 생각해서 플라즈마 공정을 만들어 보려고 합니다. 그런데 플라즈마로 이 이온들을 깨는게

이론적으로나 실제적으로 가능한것인지 알고 싶습니다.

pilot 플랜트를 만들어서 해보려고 하는데, 이왕이면 처음부터 실현 가능한 방법으로 공정을 만들려고 합니다.

도움을 받고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68748
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92613
797 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 8
796 Druyvesteyn Distribution 11
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 18
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 22
793 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 24
792 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 49
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 55
790 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 63
789 플라즈마 설비에 대한 질문 63
788 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 67
787 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 68
786 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
785 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 77
784 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 86
783 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 91
782 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 110
781 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 113
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 118
779 Microwave & RF Plasma [1] 134
778 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 135

Boards


XE Login