안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.

질문

1.VPP가 어떤건지?

2.VDC가 어떤건지?

3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?

위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.

참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.

정말 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [53] 1147
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 857
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49367
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59325
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73861
635 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 43
634 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 55
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 60
632 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 78
631 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 89
630 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 92
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 94
628 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 104
627 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 106
626 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 154
625 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 156
624 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 164
623 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 167
622 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 172
621 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 174
620 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 175
619 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 180
618 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 182
617 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 188
616 anode sheath 질문드립니다. [1] 193

Boards


XE Login