안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [103] 3678
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15366
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50582
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63013
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82208
670 AlCu Etch시 Dust 잔존 문제 new 1
669 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 29
668 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 58
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 58
666 플라즈마 관련 교육 [1] 69
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 101
664 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 127
663 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
662 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 144
661 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 152
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 163
659 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 188
657 doping type에 따른 ER 차이 [1] 233
656 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 251
655 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 254
654 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 255
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 267
652 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 268
651 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 271

Boards


XE Login