늦었지만 친절한 답변 감사드립니다.

 

한가지 더 문제되는 것이 있는데요, 최근 고객사 설비에서 PM 초기의 RF VDC 값이 높은 것 때문에 공정 불량이 발생하고 있습니다.

VDC 값은 양 극 사이(여기서는 STG HEATER 와 SHOWERHEAD 가 되겠지요)의 DC BIAS 크기와 관련이 있고 이것은 

CH 의 CAP 값에 반비례하는 것으로 알고 있는데요(틀렸다면 지적 부탁드립니다).... 그렇다면 cap 값이 커질수록 vdc 값이 작아지므로 결국 유전율이 커질수록, 전극 사이 거리가 짧아질수록 vdc 값은 작아진다... 이렇게 결론을 내릴 수 있을 것 같습니다.

 

그런데 여기서 전극 사이의 거리는 막질이 아무리 쌓인다 한들 수 micro 수준이므로 의미가 없다고 보면 vdc 값을 줄일 수 있는 방법은 ㅗheater 와 showerhead 사이의 유전율을 크게 하는 것 밖에 없다고 생각이 듭니다.

 

여기서 문의드립니다.

 

1) 위에 제가 쓴 내용이 맞는지요? 유전율이 커질수록, 전극 사이 거리가 짧아질수록 vdc 값이 작아지는 건가요?

 

2) 유전율을 크게 할 수 있는 방법에는 어떤 것들이 있을까요? 플라즈마 gas 의 양, 압력 등등 precoating 조건을 바꿔서 유전율을 크게 할 수 있을까요?

 

3) 그 외 vdc 값에 영향을 주는 변수들은 어떤 것들이 있을까요?

 

다시 한 번 자세한 답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103214
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24699
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61497
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73512
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105924
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 121
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 187
831 플라즈마 식각 커스핑 식각량 226
830 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 237
829 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 265
828 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 291
827 PEALD 챔버 세정법 [1] 293
826 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 300
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 301
824 플라즈마 설비에 대한 질문 305
823 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 328
822 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 328
821 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 343
820 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 346
819 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 349
818 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 349
817 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 354
816 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 357
815 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 372
814 Druyvesteyn Distribution 373

Boards


XE Login