안녕하십니까

서울과학기술대학교에서 external DC voltage biasing을 이용한 여러 어플리케이션에 대해서 연구하고 있는 학생입니다.

먼저 플라즈마는 RF plasma이며 바이어싱을 걸어주기 위해 파워서플라이와 저항을 이용하여 회로를 구성하였고 바이어싱이 걸리는 기판은 일반적인 탐침이 아님 Planar한 Steel substrate입니다.

기판에 바이어싱이 걸리는지 확인하기 위해 Langmuir probe의 원리를 이용하여 기판에 도달하는 전류를 측정하려고 하는데 저희의 경우 Remote 플라즈마를 사용하고 있기 때문에 플라즈마로 기판이 직접 들어가는 것이 아니라 플라즈마 발생지점 수직선상으로 밑에 위치하게 됩니다.

이런 경우에도 Langmuir probe의 이상적인 I-V Characteristics가 나타나는지 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [252] 76385
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19968
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91227
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 file 12
770 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 24
769 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 33
768 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 33
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 44
766 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 93
765 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 115
764 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 119
763 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 133
762 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 145
761 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 153
760 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 164
759 corona model에 대한 질문입니다. [1] 164
758 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 167
757 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 170
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 186
755 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 191
754 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 200
753 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 207
752 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 207

Boards


XE Login