안녕하십니까, 교수님
저는 국내 디스플레이 장비 업체에서 근무 중인 직장인 김준현이라고 합니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 업무 진행에 있어 많은 도움을 받고 있습니다.

 

최근 arcing 관련 내용을 공부 중에 있는데요, 궁금한 점이 생겨 이렇게 문의드리게 되었습니다.

 

질문들은 하기와 같습니다. 

 

1. arcing 발생 방지에 있어, ground가 중요한 이유가 무엇인가요...?

 

2. 벽표면 혹은 전극 표면 등에 쌓인 부도체 물질, particle 등이 acring 발생에 어떤 영향을 주는지 그 메카니즘에 관해 알고 싶습니다.    

 

3. 특정 조건에서 기판 지지체 하부에 잔류 플라즈마 발생을 확인할 수 있었는데요, 기판지지체 하부에는 RF Power가 직접적으로 가해지지 않는데 왜 플라즈마가 유지/생성될 수 있는지 궁금합니다. 

 

이상입니다.

 

감사합니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4910
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16244
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83570
679 plasma striation 관련 문의 newfile 4
678 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 22
677 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 29
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 38
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 60
674 Polymer Temp Etch [1] 62
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 79
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 82
671 Plasma Arching [1] 101
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 106
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 139
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 158
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 197
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 202
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 204
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 205
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 208
662 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
661 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 220
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 251

Boards


XE Login