Matcher RF 파워서플라이 매칭 문제

2022.07.21 23:00

김현기 조회 수:280

안녕하세요? 현재 연구실에서 반응성 스퍼터링으로 TiO2 박막을 실험하고 있습니다.

연구실에서 사용하는 RF스퍼터 장비에는 오토매처가 있어 파워 인가 시 자동으로 임피던스 매칭을 수행합니다.

매처는 일반적인 장비로써 Load/Tune capacitor가 내장되어있습니다.

 

현재 RF 파워의 매칭 시간이 너무 긴 문제가 있습니다.

매칭이야 조건을 찾는 과정이니 시간이 걸릴 수 있겠지만, 매칭 시간만 1시간이 넘게 걸리고, 무엇보다 공정 조건이 같은데도 매칭이 이루어지는데 점점 오래 걸리고 있습니다.

 

반응 가스는 고순도 O2를 사용 중에 있으며, 순도는 용접용이어서 낮지 않습니다.

만일 매칭에 방해가 되는 요인이 있다면 어떤 요인이 있는 지 알고 싶습니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [111] 4883
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16220
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51248
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63743
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83504
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 new 2
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 file 22
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 37
674 Polymer Temp Etch [1] 52
673 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 58
672 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 77
671 Plasma Arching [1] 80
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 103
669 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 133
668 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 157
667 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 173
666 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 196
665 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 199
664 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 203
663 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 206
662 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 209
661 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 215
660 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 238
659 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 273
658 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 273
쓰기
태그

Boards

XE Login