안녕하세요.

저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.

 

Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.

Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.

감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] 74892
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18748
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56228
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88072
718 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 35
717 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 36
716 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 45
715 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 79
714 corona model에 대한 질문입니다. [1] 86
713 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 90
712 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 109
711 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 119
710 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 125
709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 145
708 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 151
707 plasma 공정 중 색변화 [1] 163
706 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 165
705 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 193
704 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 200
703 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 226
702 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 248
701 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 255
700 Self bias 내용 질문입니다. [1] 259
699 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 271

Boards


XE Login