OES OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델]
2022.10.26 13:46
안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.
OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.
해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "
라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.
혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?
송박사님은 국가핵융합연구원의 플라즈마 기술연구소에 계십니다. 발표 논문등에서 이메일 주소등의 검색이 가능할 것입니다. 개인 정보는 공개해 드리기가 힘든 점 양해 바랍니다.
광정진단으로 광학센서를 사용하는 경우, 타킷 공정의 이해가 선행되고 타킷 공정에서 주요 기여 인자를 플라즈마 내 화학 반응 중에서 원자와 분자의 역할을 구분해서 타킷 공정에 기여 종을 선택하는 것으로 시작합니다. 주요 기여 종 중에서 광학 신호의 성질과 센서의 특성이 매칭이 되어야 진단 신호로서 기능을 하게 됩니다. 이는 현상학 기반의 진단 기술이라 하며, 이 과정을 생략하고 데이터로 부터 기여 신호를 찾는 일은 데이터 기반의 공정진단 기술에 해당합니다. 최근에는 이 둘을 결합한 데이터+플라즈마광학 모델 기반의 진단기술이
개발되고 있습니다.
아울러 먼저 사용하는 oes 를 Calibration 하시면서 이참에서 사용하는 센서 스팩에 대한 이해를 하시면 좋습니다. 여러 경로 및 OES 센서 회사 홈페이지 등에서 자료를 찾으실 수 있을 것입니다. 일단 센서 스팩을 아시고 진단을 개시하는 수순을 추천합니다.