DC glow discharge LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다.

2023.06.15 22:50

조형준 조회 수:147

안녕하십니까 교수님, 현재 반도체 공정 분야를 전공하고 플라즈마 전공에 대해 관심이 생겨 공부를 하고있는 전자공학과 학부생 4학년 입니다. 다름이 아니라 LXcat에서 Biagi, Bsr, Lisbon, Hayashi, Triniti 총 5가지의 Cross section을 가지고 Comsol Simulation Tool을 통해 플라즈마 방전 시뮬레이션을 진행하였습니다. 그 결과 각 Dataset 마다 Electron density, Electron Temperature, Volatge 등이 각각 다르게 나타나는 결과를 확인할 수 있었습니다.

 

또한 각 Dataset에 대한 Simulation을 진행하였을 때 LXcat에 존재하는 TRINITI Metastable Excitation Cross section을 각 DataSet에 추가하였고 그 결과 Metastable excitation cross section을 추가하지 않았을 때 보다 Electron density는 증가하고 전자온도는 감소하는 것을 확인할 수 있었는데 이러한 결과가 나타나게된 원인이 무엇인지 궁금합니다.

 

다르게 나타난 원인에 대해 고민해본 결과 우선적으로 Set 별로 가지고 있는 Excited State 개수가 다르기 때문에 차이가 발생한 것이라는 결론을 내려보았지만 세부적인 부분에 대해서는 해결을 하지 못하여 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 또한 각각의 Dataset 별로 Electron density, Electron Temperature, Voltage가 다르게 나타나는 이유에 대해 여쭤봐도 되겠습니까?

 

바쁘신 와중에도 긴 글 읽어주셔서 정말 감사드립니다.

 

조형준 올림.

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