안녕하세요. 반도체 업에 종사하고 있는 엔지니어 입니다.

 

제목과 같이 질문을 먼저드리자면

산업에서 사용하는 Plasma를 위주로 다루는 책이나 과목이 있을까요?

 

업무적으로나 개인적으로 궁금한 것이 생기면 여기에서 찾아보곤 하는데요.

질문을 하고 답변을 받으면 해결보다는 공부해야 하는 것들이 더 많아졌습니다.

결과적으로 제가 얻어갈 수 있는 것은 정성적인 설명밖에 없더라구요.

 

제 나름대로는 계산도 해보고 인터넷에서 검색하여 정량적인 결과를 얻어보려고 했지만

Bohm velocity, child langmuir sheath 공식 등등

 

식의 이름도 생소하지만 각 항의 의미라던지 공식의 유도과정등을 인터넷에서 찾아보기에는

각 자료마다 설명하는 방법도 다르고 Plasma 하면 핵융합이나 우주에 있는 Plasma를 연구하기 위한 자료들이 많아

공부하기에 어려움이 있더라구요.

 

꼭 플라즈마 관련된 과목이 아니더라도 이해하는데 도움이 될만한 선수과목까지 알려주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76431
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19995
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57067
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91342
777 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. 5
776 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 6
775 Edge ring의 역할 및 원리 질문 update 12
774 ICP에서 전자의 가속 12
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 20
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 29
771 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 32
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [1] 48
769 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 51
768 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [1] file 58
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 61
766 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 121
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 128
764 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 129
763 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 133
762 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 154
761 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 163
760 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 166
759 corona model에 대한 질문입니다. [1] 166
758 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 173

Boards


XE Login