Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]

2023.12.05 19:04

양은혁 조회 수:180

안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [309] 78473
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21040
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57867
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93945
821 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 65
820 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 75
819 플라즈마 식각 커스핑 식각량 85
818 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 107
817 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 108
816 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 109
815 Druyvesteyn Distribution 112
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 113
813 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 116
812 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 118
811 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 119
810 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 127
809 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 130
808 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 132
807 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 135
806 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 136
805 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 158
804 플라즈마 설비에 대한 질문 161
803 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 162
802 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 166
쓰기
태그

Boards

XE Login