안녕하세요 PECVD설비 다루는 현직 엔지니어 입니다.

 

Setup중 RPS를 쓰지 않아 RF Generator에서 3.5kW를 공급하는데 Shunt box 볼테이지와 주파수 및 클린 레시피도 바꾸어 봤는데 matcher 내부에 아킹이 발생하네요.

 

근데 이상한 점이 Process Run 중일 때는 Clean 에러가 뜨지만 제네레이터 초기화 후 메뉴얼로 RF Clean하면 잘 되는데 아킹 발생 이유를 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76947
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20312
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57234
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68783
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92772
800 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 7
799 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 23
797 Druyvesteyn Distribution 24
796 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 26
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 35
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 37
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 66
792 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 69
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 73
790 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 81
788 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 82
787 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 83
786 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 89
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 90
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 96
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 100
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 123
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124

Boards


XE Login