Others AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석]

2023.12.21 09:20

황보람 조회 수:252

안녕하세요 플라즈마 업체 쪽에서 근무하고 있는 황보람입니다.

당사 내에서 전극에 N2+Air를 사용중이며, 샘플을 평가할 때 성능이 좋은 편인데

현장에 납품하면 갑자기 성능이 당사에서 봤던 성능이 안 나옵니다..

Gas  순도나 공정환경의 온도 및 습도까지 동일하게 해봤는데도 동일 시 안 나오는데 원인에 대한 부분이 뭐가 있을까요..?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79714
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21376
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94683
824 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 21
823 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 28
822 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 68
821 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 73
820 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 86
819 플라즈마 식각 커스핑 식각량 92
818 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 116
817 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 117
816 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 123
815 Druyvesteyn Distribution 123
814 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 130
813 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 133
812 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 135
811 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 135
810 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 140
809 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 153
808 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 154
807 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 170
806 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 174
805 플라즈마 설비에 대한 질문 183
쓰기
태그

Boards

XE Login