번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17637
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86076
707 E-field plasma simulation correlating with film growth profile 6
706 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 39
705 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 47
704 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 67
703 Self bias 내용 질문입니다. [1] 86
702 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 101
701 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 116
700 self bias [1] 119
699 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 120
698 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 134
697 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 181
696 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 209
695 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 210
694 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 217
693 plasma modeling 관련 질문 [1] 237
692 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 247
691 ESC DC 전극 Damping 저항 252
690 plasma striation 관련 문의 [1] file 265
689 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 268
688 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 272
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