안녕하세요. 반도체 업에 종사하고 있는 엔지니어 입니다.

 

제목과 같이 질문을 먼저드리자면

산업에서 사용하는 Plasma를 위주로 다루는 책이나 과목이 있을까요?

 

업무적으로나 개인적으로 궁금한 것이 생기면 여기에서 찾아보곤 하는데요.

질문을 하고 답변을 받으면 해결보다는 공부해야 하는 것들이 더 많아졌습니다.

결과적으로 제가 얻어갈 수 있는 것은 정성적인 설명밖에 없더라구요.

 

제 나름대로는 계산도 해보고 인터넷에서 검색하여 정량적인 결과를 얻어보려고 했지만

Bohm velocity, child langmuir sheath 공식 등등

 

식의 이름도 생소하지만 각 항의 의미라던지 공식의 유도과정등을 인터넷에서 찾아보기에는

각 자료마다 설명하는 방법도 다르고 Plasma 하면 핵융합이나 우주에 있는 Plasma를 연구하기 위한 자료들이 많아

공부하기에 어려움이 있더라구요.

 

꼭 플라즈마 관련된 과목이 아니더라도 이해하는데 도움이 될만한 선수과목까지 알려주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19990
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91314
270 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 25
269 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 59
268 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 120
267 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 133
266 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 166
265 corona model에 대한 질문입니다. [1] 166
264 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 173
263 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 193
262 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 202
261 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 222
260 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 256
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 273
258 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 280
257 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 297
256 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 309
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 316
254 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 334
253 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 337
252 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 338
251 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 364

Boards


XE Login