번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77300
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20496
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57412
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68942
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92988
32 micro arc에 대해 질문드립니다. [1] 17
31 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] 43
30 ICP에서 전자의 가속 [1] 195
29 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 220
28 skin depth에 대한 이해 [1] 235
27 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 281
26 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 732
25 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 858
24 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1174
23 공정플라즈마 [1] 1175
22 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1431
21 ICP lower power 와 RF bias [1] 1521
20 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1553
19 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1657
18 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1688
17 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1692
16 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1917
15 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 2012
14 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2375
13 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2419

Boards


XE Login