번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75787
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19470
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56677
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68065
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90360
117 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 134
116 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 216
115 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 251
114 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 263
113 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 274
112 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 281
111 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 378
110 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 497
109 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 505
108 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 522
107 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 532
106 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 536
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 554
104 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 579
103 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 616
102 RF 파워서플라이 매칭 문제 729
101 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 779
100 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 784
99 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 793
98 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 881

Boards


XE Login