안녕하십니까, 교수님. 전자과 3학년 학부생입니다.

최근 공정에 사용되는 실제 플라즈마 설비 구조가 궁금하여 조금 조사해보았는데, 질문 드리고 싶은 부분이 몇가지 있습니다.

 

1. CCP의 경우, gas injection의 효율상 전극 하부에 최대한 가깝게 Shower head를 설치해야할 것이라고 생각합니다. 혹은 용어만 다를 뿐 실제로는 Powerd Electode=Shower head일까요?

 

2. ICP에서 상부에 안테나와 플라즈마를 격리하는 Quartz window는 Skin depth를 최대한 늘리기 위한 물질을 선택한 것인가요?

 

3.Planar ICP의 경우에는 Quatz window 하부에 Shower head 장착이 가능한지, 

Cylindrical 구조의 ICP의 경우 상부에 Shower head를 장착하고, 챔버 측면이 Quartz로 덮여있는지 궁금합니다. 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102634
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24657
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61358
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73440
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105747
833 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 120
832 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 185
831 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 188
830 플라즈마 식각 커스핑 식각량 225
829 PEALD 챔버 세정법 [1] 244
828 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 256
827 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 263
826 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 286
825 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 296
824 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 299
» 플라즈마 설비에 대한 질문 301
822 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 324
821 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 333
820 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 335
819 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 337
818 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 342
817 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
816 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 347
815 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 351
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 365

Boards


XE Login