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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응]
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술]
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Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition]
[1] | 971 |
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체]
[1] | 971 |
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안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지]
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
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Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료]
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경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
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Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
[1] | 994 |
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플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias]
[1] | 995 |
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
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Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
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플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy]
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라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
[1] | 1018 |
632 |
PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
[1] | 1019 |
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analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
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