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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73462
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653 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1037
652 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 1047
651 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1054
650 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1057
649 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 1060
648 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 1063
647 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 1075
646 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 1076
645 새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터] [1] 1077
644 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1078
643 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1079
642 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1080
641 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 1080
640 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS] [2] 1084
639 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1085
638 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1095
637 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1100
636 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 1109
635 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1127
634 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1137
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