번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] 73007
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17611
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55513
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65694
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86024
525 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 927
524 plasma 형성 관계 [1] 935
523 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 940
522 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 959
521 플라즈마 코팅 [1] 975
520 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 975
519 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 976
518 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 982
517 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 982
516 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 991
515 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 993
514 Group Delay 문의드립니다. [1] 994
513 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1003
512 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1016
511 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1020
510 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1022
509 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1025
508 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1030
507 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1039
506 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1040

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