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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[159]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
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524 |
plasma 형성 관계
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523 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
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522 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
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521 |
플라즈마 코팅
[1] | 975 |
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520 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 975 |
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519 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 976 |
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518 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 982 |
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517 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 982 |
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516 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 991 |
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515 |
부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다.
[1] | 993 |
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514 |
Group Delay 문의드립니다.
[1] | 994 |
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513 |
플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1] | 1003 |
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512 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1016 |
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511 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1020 |
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510 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
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509 |
ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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508 |
안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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507 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
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PECVD와 RIE의 경계에 대해
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