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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
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방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술]
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Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료]
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
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Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition]
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안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지]
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remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화]
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Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
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새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터]
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
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플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응]
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플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias]
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[재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술]
[1] | 1080 |
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
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RF Sputtering Target Issue [Sputtering]
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경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
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라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
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Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
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문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density]
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