번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [61] 1505
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2189
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75594
463 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 816
462 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 824
461 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 828
460 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 831
459 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 834
458 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 836
457 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 851
456 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 857
455 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 877
454 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 898
453 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 900
452 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 903
451 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 916
450 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 928
449 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 935
448 자기 거울에 관하여 944
447 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 965
446 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 970
445 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 978
444 플라즈마 기초입니다 [1] 998

Boards


XE Login