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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
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445 |
안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
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444 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
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443 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
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441 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
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RF generator 관련 문의드립니다
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
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ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 895 |
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 909 |
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자기 거울에 관하여
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435 |
DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 937 |
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플라즈마 기초입니다
[1] | 966 |
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433 |
MATCHER 발열 문제
[3] | 972 |
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charge effect에 대해
[2] | 993 |
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etching에 관한 질문입니다.
[1] | 997 |
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430 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1007 |
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 1010 |
