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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71699
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650 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 958
649 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 959
648 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 963
647 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 971
646 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 971
645 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다. [플라즈마 확산 시간 및 표면 반응 시간 유지] [2] 975
644 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS] [2] 978
643 RF 파워서플라이 매칭 문제 978
642 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 983
641 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 984
640 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 984
639 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 994
638 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 994
637 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 995
636 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 996
635 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1002
634 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1013
633 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 1018
632 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1019
631 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 1023

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