Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76820 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20248 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57191 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92578 |
| 615 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 816 |
| 614 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 825 |
| 613 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 825 |
| 612 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 834 |
| 611 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 839 |
| 610 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 845 |
| 609 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 846 |
| 608 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 848 |
| 607 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 848 |
| 606 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 855 |
| 605 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 861 |
| 604 | 문의 드립니다. [1] | 869 |
| 603 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 869 |
| 602 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 869 |
| 601 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 883 |
| 600 |
플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor
[1]  | 888 |
| 599 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 889 |
| » | O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] | 893 |
| 597 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 912 |
| 596 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 926 |