Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:911

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
609 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 844
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 844
607 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
606 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 854
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 856
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 863
603 문의 드립니다. [1] 868
602 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 868
601 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 869
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 881
599 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 885
598 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 890
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 911
596 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
595 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
594 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 950
593 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 955
592 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 959
591 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 960
590 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962

Boards


XE Login