Plasma in general 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas

2019.01.09 15:32

훈느 조회 수:827

플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?

carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.

플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만

carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
617 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 818
616 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 823
615 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 826
» 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 827
613 RF 파워서플라이 매칭 문제 830
612 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 842
611 Self bias 내용 질문입니다. [1] 842
610 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
609 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 847
608 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 852
607 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 853
606 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 856
605 문의 드립니다. [1] 871
604 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 874
603 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 874
602 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 891
601 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 892
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 893
599 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 896
598 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
쓰기
태그

Boards

XE Login