번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27110
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64255
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76046
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 110047
635 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 1203
634 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1213
633 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1214
632 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1219
631 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1222
630 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1234
629 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 1242
628 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1245
627 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1247
626 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1250
625 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1252
624 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1261
623 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1262
622 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1265
621 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [Atmostpheric pressure plasma jet] [1] 1265
620 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1267
619 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1270
618 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1272
617 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1275
616 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1283
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