OES EEDF, IEDF, Cross section관련 질문

2019.07.09 11:28

베컴 조회 수:1070

안녕하십니까? 에쳐장비 현업에 종사하고 있습니다.


OES를 통해서 EEDF를 어떻게 그래프화 할 수 있느지 궁금합니다.

일단 분광기를 통해서 받아들인 파장에 따른 강도의 Law data를 가지고 어떤식으로 구하는지요?

제 생각에는 기존의 에너지 분포함수등을 참고하여, 모델링 할것으로 판단이 되는데....구체적인 개념적 방법을 알고 싶습니다.


그리고, IEDF도 OES를 통해서 구할수 있는지요? 플라즈마 상태에서 전자와 이온전류의 Net Current가 0임을 전제로 하여, 구할수도 있을 듯한데....개념적인 설명 부탁드립니다.


추가적으로 공정 라티칼 Cross Section관련, 이 부분은 플라즈마 내부 물리적 충돌로 인한 영향과 화확적 반응 정도를 파악하기 위해 보는 상수나 그래프라 추정합니다....충돌단면적을 구하는 방법또한 궁금합니다.


바쁘시겠지만, 추천해주실 논문이나, 개념적이나 간단한 수학적 설명 부탁드립니다.

(상기 관련 다양한 접근방법이나 방식이 있겠지만, 레퍼로 참고할 수 있는 방식 부탁드립니다.)


본 사이트를 통해 다양한 정보와 지식을 공유하고 생각하는데에 대해 항상 감사하게 생각하고 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5839
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17298
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53131
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64523
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85136
498 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1013
497 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1019
496 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1020
495 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1029
494 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1030
493 자기 거울에 관하여 1038
492 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1046
491 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1051
490 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1064
489 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1067
» EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1070
487 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1074
486 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1095
485 플라즈마 기초입니다 [1] 1127
484 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1139
483 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1152
482 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1156
481 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1177
480 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1178
479 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1193

Boards


XE Login