Plasma in general 전자 온도 구하기

2021.06.16 14:00

피했습니다 조회 수:1123

안녕하세요 교수님 언제나 좋은 정보 감사합니다.

 

저는 건식 세정 장비 회사에 다니는 엔지니어 입니다.

 

책을 통해서 공부를 하고 있는 중 플라즈마 전압과 플로팅 전압 차를 이용해 이온이 기판에 충돌하는 에너지를 구하는 식을 배웠습니다.

(식은 혹시 몰라 첨부파일에 사진으로 올렸습니다.)

 

그래서 저희 장비 기준으로 충돌 에너지를 구해 보고자 했는데, 문제는 Te 항인 전자의 온도를 어떻게 구해야하는지 모르겠어서 이렇게 문의 드립니다.

 

플라즈마 전자의 온도를 어떻게 구할 수 있나요?

 

그리고 분모에 있는 e = 1.6 * 10^-19 C 이 맞는지요 ? 

 

감사합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76698
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20154
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92220
587 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 970
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 978
585 anode sheath 질문드립니다. [1] 980
584 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 991
583 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
582 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 999
581 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1003
580 고진공 만드는방법. [1] 1006
579 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
578 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1012
577 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1020
576 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1028
575 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
574 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1036
573 플라즈마 코팅 [1] 1036
572 Plasma Arching [1] 1040
571 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
570 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1047
569 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1047
568 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1052

Boards


XE Login