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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59715
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423 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 1123
422 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1130
421 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1130
420 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1132
419 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1152
418 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1167
417 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1168
416 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1201
415 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1201
414 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1208
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412 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1222
411 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1230
410 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1232
409 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1233
408 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1258
407 질문있습니다. [1] 1266
406 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1294
405 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1301
404 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1309

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