번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5573
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16855
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64186
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84148
471 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1152
470 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1154
469 MATCHER 발열 문제 [3] 1170
468 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1176
467 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1179
466 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1186
465 charge effect에 대해 [2] 1187
464 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1188
463 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1193
462 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1194
461 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1195
460 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1213
459 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1213
458 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1216
457 Ar plasma power/time [1] 1220
456 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1220
455 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1234
454 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1237
453 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1244
452 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1246

Boards


XE Login