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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1152 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1163 |
438 |
Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1167 |
437 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 1175 |
436 |
강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1177 |
435 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1178 |
434 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1197 |
433 |
플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1199 |
432 |
DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 1235 |
431 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1252 |
430 |
수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1256 |
429 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1259 |
428 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1268 |
427 |
ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1271 |
426 |
플라즈마 관련 기초지식
[1] | 1271 |
425 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1287 |
424 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 1298 |
423 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 1304 |
422 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1310 |
421 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1325 |