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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
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PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1130 |
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420 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
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ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1152 |
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418 |
플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1167 |
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417 |
플라즈마 관련 기초지식
[1] | 1168 |
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416 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1201 |
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415 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 1201 |
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414 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1208 |
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413 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1219 |
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412 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1222 |
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411 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1230 |
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410 |
수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
[1] | 1232 |
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409 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 1233 |
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408 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1258 |
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질문있습니다.
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406 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
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405 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
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404 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1309 |
