안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76437
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57070
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91344
557 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1065
556 전자 온도 구하기 [1] file 1072
555 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1073
554 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1079
553 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1083
552 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1090
551 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1093
550 wafer bias [1] 1101
549 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1107
548 공정플라즈마 [1] 1111
547 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1112
546 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1123
545 자기 거울에 관하여 1125
544 Group Delay 문의드립니다. [1] 1128
543 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1128
542 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1131
541 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1133
540 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1136
539 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1143
538 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1158

Boards


XE Login