Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:1155

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

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