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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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진학으로 고민이 있습니다.
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플라즈마 코팅
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Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유
[1] | 1039 |
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DC Plasma 전자 방출 메커니즘
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리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.
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Plasma Arching
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RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소
[1] | 1063 |
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 1065 |
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고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 1069 |
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Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
[3] | 1076 |
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etch defect 관련 질문드립니다
[1] | 1086 |
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전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스)
[1] | 1086 |
563 |
Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다.
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..?
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
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RF 반사파와 이물과의 관계
[1] | 1122 |
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Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계.
[2] | 1123 |
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식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문
[1] | 1124 |
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잔류시간 Residence Time에 대해
[1] | 1128 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.