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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68745
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570 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1063
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566 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1077
565 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1087
564 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1087
563 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1090
562 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1092
561 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1115
560 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1123
559 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1125
558 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1127
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