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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66873
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477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1310
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473 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1325
472 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1329
471 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1335
470 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1343
469 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1354
468 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1354
467 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1362
466 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1366
465 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1383
464 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1390
463 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1402
462 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1411
461 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1425
460 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1434
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