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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61628
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420 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1325
419 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1327
418 etching에 관한 질문입니다. [1] 1342
417 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1351
416 질문있습니다. [1] 1365
415 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1377
414 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1397
413 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1408
412 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1412
411 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1416
410 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1421
409 터보펌프 에러관련 [1] 1423
408 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1453
407 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1458
406 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1461
405 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1464
404 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1472
403 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1476
402 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1492
401 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1507

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