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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[262]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20046 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57103 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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542 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 1138 |
541 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
[1] | 1140 |
540 |
대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1143 |
539 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1155 |
538 |
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1167 |
537 |
챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1170 |
536 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1186 |
535 |
플라즈마 챔버
[2] | 1192 |
534 |
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
[2] | 1197 |
533 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1199 |
532 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1199 |
531 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1225 |
530 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1227 |
529 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1236 |
528 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1250 |
527 |
Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[1] | 1258 |
526 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1262 |
525 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1265 |
524 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
[1] | 1274 |
523 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1277 |