안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92160
547 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1153
546 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1153
545 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1154
544 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1157
543 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1159
542 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1161
541 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1164
540 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1173
539 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1179
538 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1187
537 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1217
536 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1218
535 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1223
534 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1233
533 플라즈마 챔버 [2] 1234
532 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
531 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1240
530 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256
529 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1263
528 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268

Boards


XE Login