Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20848 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93633 |
579 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1074 |
578 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1080 |
577 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1082 |
576 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 1084 |
575 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] ![]() | 1091 |
574 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] ![]() | 1096 |
573 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1099 |
572 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1120 |
571 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1130 |
570 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1134 |
569 | Plasma Arching [1] | 1138 |
568 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1140 |
567 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1144 |
566 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1157 |
565 | 자기 거울에 관하여 | 1158 |
564 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1163 |
» | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1177 |
562 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1181 |
561 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1187 |
560 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1187 |
반응기 설계 시 global model 을 사용해서 플라즈마 밀도와 온도를 예상하고 이를 적용해서 공정 시나리오를 예상해 볼 수 있습니다. 여기서 사용하는 global model 은 plasma 하전 입자 밀도와 전자 온도를 energy balance 와 particle balance equations으로 연립해서 해를 구해 얻습니다. gloabl model 이라 하면 여기서 얻은 밀도/온도는 모두 chamber 내에 균일하고 분포한 플라즈마를 가정한다, 즉 공간 분포를 고려하지 않음을 의미합니다.
이 모델에 대해서는 게시판이나 플라즈마 기초 교재에서 찾아 보실 수 있습니다. 혹시 두 식을 모두 세우기 힘들다면 입력 전력은 인가 전력으로 가정하고, 전자 온도를 2-4 eV 에서 선택하고 Ar 기준으로 풀어봐도 근사값을 얻으실 수 있을 것 같습니다. 관련 연구 결과들과도 비교해 보세요.