번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5587
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16862
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64191
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84169
431 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1409
430 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1429
429 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1430
428 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1450
427 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1462
426 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1473
425 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1476
424 질문있습니다. [1] 1481
423 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1488
422 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1495
421 터보펌프 에러관련 [1] 1497
420 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1503
419 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1521
418 etching에 관한 질문입니다. [1] 1550
417 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1554
416 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1554
415 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1580
414 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1589
413 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1595
412 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1602

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