번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [61] 1502
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 2131
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49509
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59715
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75561
383 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1512
382 chamber impedance [1] 1518
381 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1553
380 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1556
379 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1559
378 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1561
377 Wafer particle 성분 분석 [1] 1563
376 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1567
375 Si Wafer Broken [2] 1573
374 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1627
373 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1630
372 가입인사드립니다. [1] 1644
371 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1648
370 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 1658
369 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1717
368 Plasma etcher particle 원인 [1] 1721
367 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1722
366 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1755
365 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1763
364 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1794

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