교수님 안녕하십니까, 저희는 한국항공대에 재학하고 있는 학생들입니다.

현재 DBDs 를 활용하여 유동제어 하는 곳에 사용하는 것을 목적으로 기초지식을 이해하고 있는 중에 궁금증이 많은데,

기계공학과이다보니 전기공학분야로는 문외한이라 이렇게 질문을 드립니다.

 

1. DBDs 를 통한 유동제어에서 유동을 생성하는 주요한 인자가 양이온의 크기로 인한 공기중의 분자와 충돌인지, 혹은 전자의 가볍고 빠른 충돌로 인한 에너지 전달로써 공기중의 분자를 이동시키는 것인지 궁금합니다.

2. 또한 DC를 사용하여도 플라즈마가 생성되는 것으로 알고 있는데, DBDs는 왜 DC를 사용하지 않고 AC를 사용하는지? 궁금합니다. (DC를 사용해도 유동방향이 생기는데, 왜 AC를 사용하는 것인지 궁금합니다.)  (여기서, 저희가 DC를 사용하는 것이 계속적으로 전력을 공급하면 열에너지에 의해서 아크방전 영역으로 발전하여 방전이 유지되지 않기 때문에 AC를 사용하는 것이라 추측하였는데, 이것이 맞는 가정인지도 궁금합니다.)

3. DBDs 에서 유전체를 사용하는데, 유전체를 이용하면 유동바람을 생성하는데 많은 장점이 있는 건가요?

 

너무 기초적인 질문이라 답변하시기 귀찮으실 것 같다는 생각도 드는데..저희가 약 한달간 공부했는데, 정확한 이유를 알지 못하는 부분입니다. 꼭 부탁드립니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102774
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24678
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61397
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73463
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105804
573 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1431
572 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1434
571 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1436
570 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 1440
569 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1441
568 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1443
567 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 1444
566 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1456
565 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어] [1] 1459
564 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1460
563 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1461
562 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1464
561 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1467
560 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1469
559 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 1480
558 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1498
557 플라즈마 기초입니다 [Breakdown과 electrolysis] [1] 1509
556 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [플라즈마 방전 및 이온 가속] [1] 1525
555 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1525
554 wafer bias [Self bias] [1] 1530

Boards


XE Login