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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68062
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478 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1462
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1472
476 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1481
475 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1489
474 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1498
473 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1500
472 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1513
471 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1521
470 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1533
469 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1556
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1557
467 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1562
466 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1581
465 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1586
464 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1594
463 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1600
462 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1606
461 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1634
460 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1635
459 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1646
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