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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1462 |
477 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1472 |
476 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1481 |
475 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1489 |
474 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1498 |
473 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1500 |
472 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1513 |
471 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1521 |
470 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1533 |
469 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1556 |
468 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1557 |
467 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1562 |
466 |
매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1581 |
465 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1586 |
464 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1594 |
463 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1600 |
462 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1606 |
461 |
플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1634 |
460 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1635 |
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ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1646 |