번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91548
502 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1393
501 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1395
500 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1408
499 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1409
498 MATCHER 발열 문제 [3] 1414
497 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1420
496 Ar plasma power/time [1] 1422
495 알고싶습니다 [1] 1424
494 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1434
493 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1434
492 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1437
491 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1437
490 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1445
489 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1445
488 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1449
487 plasma 형성 관계 [1] 1449
486 charge effect에 대해 [2] 1452
485 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1453
484 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1458
483 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1460

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